一种红外光谱成像芯片及其成像系统

本申请提供了一种红外光谱成像芯片及其成像系统，该芯片包括衬底、探测阵列结构和滤波阵列结构，且探测阵列结构和滤波阵列结构相对设置在衬底的第一表面和第二表面。探测阵列结构包括多个呈阵列设置的探测器单元，滤波阵列层包括多个呈阵列设置滤波单元，而每个滤波单元又可以包括多个呈阵列设置的滤波子单元。通过将每个滤波子单元设置为和在衬底上与探测器单元一一对应，提高探测器单元对滤波阵列结构对目标光谱的数据采集精度，通过将滤波单元内每个滤波子单元设置为不同的中心波长，提高目标光谱采集精度。本申请可以提高在红外波段条件下对目标场景光谱采集精度，获取高分辨率的红外光谱图像。