一种晶圆传送装置及其控制方法

本说明书实施例公开了一种晶圆传送装置及其控制方法，晶圆传送机器人，所述晶圆传送机器人包括多个控制轴和至少两层传送手指模组，至少两层所述传送手指模组依次活动设置在所述控制轴的执行末端，多个所述控制轴用于控制所述传送手指模组的移动；每层所述传送手指模组包括至少一个晶圆传送刀片。