芯片清洗方法、装置、芯片清洗设备及存储介质

本申请涉及芯片清洗技术领域，揭示了一种芯片清洗方法、装置、芯片清洗设备及存储介质，应用于芯片清洗设备，启动清洗液泵并打开清洗液电磁阀，其中，清洗液储存器中的清洗液先后通过清洗液泵、清洗液电磁阀以及第一单通，进入到调节阀，接着通过水路控制器打开清洗水电磁阀，其中，清洗水先后通过清洗水电磁阀、清洗水流量计以及第二单通，进入到调节阀，最后打开调节阀，通过气路控制器启动气阀，其中，清洗液与清洗水在气阀所施加的压力下通过调节阀，从二流体喷头喷出，对芯片进行清洗，能够混合清洗液以及清洗水，并在气阀所施加的压力下通过调节阀，从二流体喷头喷出，对芯片进行清洗，实现了对芯片的高效冲洗。