摘要
本发明提供了一种涂胶设备,属于半导体技术领域。包括:基座;支架,设置在基座上;混料装置,设置在支架上,混料装置内部形成一容置空间,混料装置上设置有与容置空间连通的进料口;储胶罐,储胶罐用于分别存储A胶和B胶;涂胶装置,与混料装置通过管路连接;驱动电机,与涂胶装置连接;控制装置,用于根据待粘接晶棒的长度,确定A胶的第一用量和B胶的第二用量;根据第一用量和第二用量,控制储胶罐通过进料口向容置空间输送A胶和B胶,并控制混料装置对A胶和B胶进行混合处理形成粘胶;控制混料装置通过管路向涂胶装置输送粘胶,并控制驱动电机驱动所述涂胶装置对树脂板进行涂胶操作。本发明的技术方案能够有效改善涂胶工艺中的涂胶效果。
技术关键词
混料装置
涂胶设备
涂胶装置
储液球
储胶罐
树脂板
阀门
清扫装置
扫描装置
机械臂
粘胶
管路
导流管
安装槽
控制驱动电机
涂胶工艺
基座
进料口
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