一种集成磁芯及水平型霍尔元件的集成芯片及其制备方法

一种集成磁芯及水平型霍尔元件的集成芯片及其制备方法，通过晶圆键合方式将两片磁通聚集器分别与霍尔ASIC芯片对准，然后分别晶圆键合至霍尔ASIC芯片的上表面和下表面，形成一体化的集成芯片；在每片磁通聚集器中均设置有磁通聚磁薄膜，在水平型霍尔ASIC芯片设置有水平型霍尔元件。本发明通过磁通聚集器与霍尔ASIC芯片形成一体化的集成芯片，其中磁通聚磁薄膜能起到汇聚磁感应线、放大被检测磁场强度，实现与铁磁芯相同的功能。该集成芯片无需使用大块铁磁芯，能够实现霍尔电流检测芯片的微型化；实磁通聚磁薄膜与水平型霍尔元件的微米级精对准，明显优于目前磁铁芯装配的对齐精度。