一种可以演示光刻机模型

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推荐专利
一种可以演示光刻机模型
申请号:CN202410868234
申请日期:2024-07-01
公开号:CN118538104A
公开日期:2024-08-23
类型:发明专利
摘要
本发明提供一种可以演示光刻机模型,包括底座和模型主体,所述底座的顶部固定安装有承载组件,所述承载组件的顶部安置有模型主体,所述底座顶部的一侧固定安装有升降组件,所述升降组件上传导安装有传导组件,所述传导组件的传导端对接安装有装夹组件,所述传导组件的背面固定安装有变向组件,变向组件的底部装配有展示组件,且展示组件与模型主体相互配合;展示组件包括环形套、第六电机、环形齿条、第一驱动齿轮、渲染部件。本发明通过变向组件与展示组件之间的相互配合,使模具达到了渲染演示的效果,通过灯光的渲染,来增加模具在装配组合期间的关联效果,又可以针对光刻机模型的作业点进行对应灯光指示。
技术关键词
模型主体 光刻机 展示组件 导向轨 安装框体 承载组件 升降组件 安装套管 装夹部件 装夹组件 吊装架 环形套 安装方管 电机 齿轮部件 安装臂 橡胶垫板 传动轴 齿条
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