一种基片载体识别方法、系统和可存储介质

本发明公开了一种基片载体识别方法、系统和可存储介质，其中方法用于基片载体内部不同物件的识别，物件包括位于半导体基片载体内的基片、隔离件和缓冲垫。方法包括：获取半导体基片载体内最上层的待测图像数据。将每个待测图像数据均发送到预先训练好的分类神经网络模型中进行物件的识别。分类神经网络模型判断是否到达空载状态，若是，则结束；若否，则根据分类神经网络模型的识别结果，调用对应的机械手进行最上层物件的拾取。方法通过神经网络模型，能对半导体基片载体内的物件进行快速和准确的识别，进行对应机械手的调用。