一种提高图像曝光精度的装置及方法

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一种提高图像曝光精度的装置及方法
申请号:CN202410881751
申请日期:2024-07-03
公开号:CN118426127B
公开日期:2024-10-22
类型:发明专利
摘要
本申请实施例公开了一种提高图像曝光精度的装置及方法,装置包括:在一立板的同侧自上而下平行设置的第一水平导轨、第一传动组件、第二传动组件以及第二水平导轨;一竖直梁的上端端头设置有第一编码器,下端端头设置有第二编码器,在第一水平导轨的上端设置有第一光栅,下端设置有第二光栅;一控制模块控制竖直梁水平运动,获取竖直梁的上端的第一实时位移S1以及下端端部的第二实时位移S2,控制模块动态调整第一实时位移S1和第二实时位移S2,以使得第一实时位移S1和第二实时位移S2保持动态相等,竖直梁在水平运动过程中尽可能处于垂直状态,为位于竖直梁上呈列状分布的若干颗激光器准确曝光图像提供保障。
技术关键词
激光直写设备 控制模块 编码器 传动组件 光栅 导轨 传送带 动态 立板 端头 芯片处理器 激光器 图像 运动 精度 滑块 速度 变量 伺服电机
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