融合机理信息与神经网络的制造装备工艺质量预测方法

本发明涉及一种融合机理信息与神经网络的制造装备工艺质量预测方法，包括下列步骤：按照“四层级”梳理制造装备工艺质量预测的机理分析架构；基于特征词过滤专家知识库相关内容，填充“四层级”结构的机理分析架构；基于工艺质量分析机理模型的层级结构构建工艺质量预测神经网络；采用仿真获得的机理数据与实际采集数据混合训练方式对所建立的神经网络进行训练；进行包括边界约束、交叉验证、参数调整在内的多种方法进行模型优化。