摘要
本发明公开了一种基于人工智能的集成电路故障监测管理系统及方法,该方法包括在集成电路正常工作时,采集每个元件中各种工艺参数的历史数值,分析得到正常工作时每个元件中各种工艺参数正常阈值范围;在集成电路发生故障时,采集每个元件中各种工艺参数的历史数值,分析得到发生故障时每个元件中各种工艺参数异常阈值范围;通过人工智能算法对每个元件中各种工艺参数正常阈值范围和每个元件中各种工艺参数异常阈值范围进行训练,得到每个元件中各种工艺参数标准阈值范围;通过对每个元件中各种工艺参数的实时数值采集,建立工艺参数实时状态的矩阵,通过分析矩阵数字变化,对集成电路故障进行监测。本发明能对集成电路的元件进行准确监测。
技术关键词
集成电路故障
元件
参数
监测管理系统
监测管理方法
数值
人工智能算法
矩阵
监测模块
分析故障
分析单元
偏差
关系
数据