一种芯片检测装置

本发明涉及芯片检测技术领域，尤其是一种芯片检测装置，包括基座；定位单元，包括定位盘、定位管，晶圆通过定位管吸附安装在定位盘上；检测单元，包括移动模组、探针和光学显微镜；传动单元，包括立轴、第一齿轮和第二齿轮，定位盘外缘面具有齿槽，移动模组驱动端安装有第三齿轮。本发明通过移动模组带动探针和光学显微镜移动一个距离单元，随着定位盘的旋转，探针和光学显微镜对晶圆最外圈的单元点全部都检测完毕，回到初始点后，移动模组再一次带动探针和光学显微镜移动一个距离单元，对晶圆上的第二圈芯片进行测试，如此往复，直至全部检测完毕，通过这种自动化测试，显著缩短每个晶圆的测试周期。相比人工操作，减少了人工干预的需求。