摘要
本发明涉及半导体技术领域,具体而言,涉及一种芯片翻面机构、芯片翻面装置和芯片分拣设备;芯片翻面机构包括基座、第一开合盖和第二开合盖,基座设置有放置孔,放置孔用于容置芯片,基座具有相背分布的第一面和第二面,放置孔贯穿第一面和第二面;第一开合盖可活动地设置于基座,且第一开合盖被配置为能从第一面打开或遮挡放置孔;第二开合盖可活动地设置于基座,且第二开合盖被配置为能从第二面打开或遮挡放置孔;基座能绕设定轴线转动,以带动第一开合盖、第二开合盖以及放置于放置孔的芯片同步转动。该芯片翻面机构能够使芯片的目标面朝上,且不需要反复识别同一芯片,能够提高效率,提升产能。
技术关键词
翻面机构
开合盖
芯片分拣设备
基座
翻面装置
弹性件
限位件
驱动件
机架
产能
运动