摘要
本发明公开了一种存储装置、半导体器件及存储器系统,涉及半导体领域,包括芯片及多个导电线。芯片包括金属层,其中金属层为金属垫或金属再分布层。多个导电线垂直形成于金属层上,其中多个导电线的数量为至少三个,多个导电线的长度为5纳米至200纳米,且每一个导电线与相邻的一个导电线之间的距离为0.1纳米至20纳米。通过垂直形成于金属层上的多个纳米导电线进行连接,可避免热工艺造成的成品率降低及可靠性风险,同时因其优越的电气性能实现更好的产品性能和产量。此外,通过应用垂直纳米导电线及其连接技术,可实现用于探测目的的临时、非永久性连接,同时可以直接在基板上安装芯片,从而处理未经测试的设备并提供新的功能。
技术关键词
存储装置
存储器系统
金属再分布层
双倍数据速率
基板载体
导电线
存储芯片
半导体器件
纳米
故障存储单元
动态随机存取存储器
逻辑
电气保险丝
机械保险丝
重叠面积
电路板
低功耗
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