硅材表面应变快速无损非接触测量装置及测量方法

本发明提供一种硅材表面应变快速无损非接触测量装置及测量方法，包括：飞秒激光器，用于产生飞秒激光脉冲；时域拉伸组件，设置在飞秒激光器的出射光路上；光信号放大组件，设置在时域拉伸组件的出射光路上；分束器，位于光信号放大组件的出射光路上，用于将所述飞秒激光脉冲分为具有特定功率比的测试光束与参考光束；空间分散组件，设置在分束器测试光束的出射光路上；显微物镜，设置于空间分散组件的出射光路上；高速光电探测器，位于分束器参考光束的出射光路上；高速示波器，与所述高速光电探测器电连接；数据处理装置，与高速示波器电连接。本发明用于解决现有技术对散斑的强依赖和检测帧数低的问题。