一种硅片质量检测方法及相关装置

本申请公开了一种硅片质量检测方法及相关装置，涉及硅片检测技术领域，包括：通过图像采集设备采集表面涂敷有钝化液的硅片的图像，识别图像中硅片的缺陷，并获得缺陷在图像中的至少一种图像数据特征。基于光谱仪采集的光谱数据特征，确定硅片的化学成分及纯度。将图像数据特征和光谱数据特征进行拼接获得整合特征，进而确定硅片的缺陷检测结果，实现了物理缺陷检测与化学成分分析的有机结合，为质量评估提供了更加全面的信息。通过电阻率测试仪测试硅片的电阻，以及通过少子测试仪测试硅片的少子寿命，本方案通过全面考虑硅片的物理缺陷、化学成分和电学性能，自动确定表面涂敷有钝化液的硅片的质量检测结果，提高了硅片的质量检测结果的准确性。