喷出压力监视装置及方法、记录介质及涂敷装置

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喷出压力监视装置及方法、记录介质及涂敷装置
申请号:CN202410905735
申请日期:2024-07-08
公开号:CN119303808A
公开日期:2025-01-14
类型:发明专利
摘要
本发明提供一种能够对喷出压力适当检测未预先设想到的未知异常的喷出压力监视装置及方法、记录介质及涂敷装置。喷出压力测量部(911)获取压力数据。特征量计算部(913)计算压力数据的特征量。异常度计算部(915)将特征量作为输入,使用输出表示偏离正常的特征量的分布的程度的异常度的无监督学习模型(M1),对特征量计算部计算出的特征量计算异常度。异常概率计算部(917)将特征量作为输入,使用输出表示属于特定的异常(A)、(B)的概率的异常概率的监督学习模型(M2),对特征量计算部(913)计算出的特征量计算异常概率。异常判断部(919)使用异常度计算部(915)计算出的异常度和异常概率计算部计算出的异常概率判断压力数据的异常。
技术关键词
压力监视装置 监督学习模型 监视方法 无监督学习 数据 涂敷装置 基板 压力传感器 介质 计算机
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