一种基于SSOCT的高速、大量程、高精度表面轮廓测量方法

本发明属于表面轮廓测量技术领域，公开了一种基于SSOCT的高速、大量程、高精度表面轮廓测量方法方法。基于搭建中心波长为1310nm的迈克尔逊干涉仪，采用高精度频率提取与数字光谱矫正，对实际物体的表面轮廓进行测定。充分利用SSOCT固有优势，克服SSOCT需要大数据量采集的弊端，通过提高光谱采集率实现了快速、大量程的表面轮廓测量。并针对表面轮廓测量中干涉光谱的特点，提出了更为精确的频率估计算法，进而实现了亚微米精度的测量。