一种晶圆成像离焦修复方法

本发明提供了一种晶圆成像离焦修复方法，通过获得离焦半径与相机和被摄物之间的相对位置之间的第一映射关系，利用第一映射关系得到最优的离焦半径并用于图像的离焦修复，可以通过一次检测，获得图像修复所涉及的离焦半径参数与相机与被摄对象的距离间关系，在后续对晶圆进行成像时，仅需根据相机与被摄对象之间的距离关系，即可得到较好的离焦修复效果，从而实现对晶圆成像的离焦复原；针对各个晶圆无需再次进行遍历分析，不仅提高了图像的利用率，减少了因重新拍摄导致的资源浪费，而且能够显著提高成像质量和检测精度。