LED半导体芯片集中性脏污缺陷检测方法、设备及介质

本发明提供LED半导体芯片集中性脏污缺陷检测方法、设备及介质，主要针对LED半导体芯片Pad区集中分布散点脏污缺陷检测，通过图像预处理、图像增强算法、基于灰度信息的图像分割及网格缺陷判定算法，能够自动计算出不同位置集中分布脏污的情况，根据参数调整能够检测不同脏污严重程度的集中性缺陷。本发明使用人工设计缺陷检测算法，不需要收集大量的缺陷样本数据，仅需对缺陷的判定规格有一定了解即可；针对客户场景设计的缺陷检测算法，能够有效降低产品差异、光照等因素对检测结果的影响，从而提高检测算法的鲁棒性；使用网格缺陷判定算法，能够更有效的减少离散脏污的误检出率，能更加精准有效的识别出集中性脏污缺陷。