一种测控一体化空间微机电推力器

本发明涉及一种测控一体化空间微机电推力器，包括装置本体和与装置本体连接的控制模块，装置本体包括依次设置的流量控制区、流量监测区和加热区，装置本体内设有贯穿流量控制区、流量监测区和加热区气体流道，气体流道位于流量控制区的一端为气体入口，位于加热区的另一端为气体出口，气体入口连接气源。与现有技术相比，本发明具有装置本体设置流量控制区、流量监测区和加热区，仅通过装置本体即可实现气体流量的控制、监测和加热，整体结构体积小；通过压电薄膜和柔性膜的形变进行高频率的开关动作，实现了稳定且连续的气体流量输出，响应时间短；加热模块包括加热电阻和悬空结构，防止热量向芯片内部扩散，实现了高稳定性和可靠性等优点。