一种基于逆向设计的掺杂型热光移相器

本发明涉及一种基于逆向设计的掺杂型热光移相器，包括：衬底；绝缘埋层，位于所述衬底的上表面；覆盖层，位于所述绝缘埋层的上表面；顶层硅波导，形成在所述覆盖层内部，并位于所述绝缘埋层的上表面；加热器，形成在所述覆盖层内部，并位于所述顶层硅波导的两侧，并与所述顶层硅波导的两侧贴合；所述加热器两端引出用于与电极相连的导线。本发明能够保证相移效率。