一种基于误差分析的高精度纳米压印晶圆键合控制方法及系统

本发明公开了一种基于误差分析的高精度纳米压印晶圆键合控制方法及系统，涉及半导体器件制备技术领域。包括获取向纳米压印晶圆键合设备输入的控制指令；基于控制指令设置误差范围。本发明通过实时采集纳米压印晶圆键合设备的运行数据，并利用预设的误差分析方法对数据进行处理，构建可视化波形图以直观地展示实时标记数据的变化趋势并基于判别范围确定误差分析表，进一步利用权重算法对误差等级进行量化评估，通过转化方法将误差分析结果转化为纳米压印晶圆键合设备的参数调节方案，并通过控制指令实现设备的精准控制的设置，不仅提高了纳米压印晶圆键合过程的精度和稳定性，还能够及时发现并解决潜在问题，间接性的提高生产效率。