无源片上光学长通滤波器

一种无源片上光学长通滤波器，用于在非线性生成光子后去除短波长的残留泵浦光子。在波导的区段上沉积一层薄层(<100nm)的非晶硅或多晶硅，以吸收波长短于硅带隙波长约1.1μm的光，而波长长于硅带隙波长的非线性生成光在波导中传播时吸收损耗可忽略不计。该滤波器适用于非线性和量子光子芯片，以实现超过120dB的片上光学泵浦光抑制比。该滤波器在概念上设计简单，可通过CMOS工艺制造，具有潜在的高晶圆级可扩展性和低成本制造性。该滤波器可在各种集成光子平台中实现，包括碳化硅、氮化硅、铌酸锂和氮化铝。