周期弧形边缘电极的薄膜铌酸锂调制器及其制备方法

本发明提供了一种周期弧形边缘电极的薄膜铌酸锂调制器及其制备方法，周期弧形边缘电极的薄膜铌酸锂调制器内的电极包括矩形结构和凸起结构，凸起结构根据正负电极的不同情况设置在矩形结构两侧或一侧，凸起结构包括第一条形部和第二条形部，其中，第一条形部的第一端连接矩形结构，第二端连接第二条形部的中间位置，第一条形部和第二条形部的边缘呈圆弧形状。本发明通过对凸起结构的边缘进行弧形处理，使得电场更均匀的分布在波导两侧，可以有效减弱微波电流的趋肤效应，可以避免电流的聚集，实现更高的调制效率和调制带宽。本发明在减小欧姆阻抗的同时，减弱了趋肤效应，降低了微波传输损耗。