一种针对压电驱动系统非线性复合控制方法

本发明涉及微机电领域，具体涉及一种针对压电驱动系统非线性复合控制方法。包括以下步骤：采用Maxwell模型对压电驱动系统静态迟滞特性进行建模；构建率相关系数矩阵，将率相关系数矩阵与Maxwell模型耦合得到率相关迟滞模型；本发明采取Maxwell模型与PID控制器相结合的前馈‑反馈复合控制方法，对压电驱动系统的迟滞非线性进行有效控制，所以具有模型结构简单、逆模型求解容易、鲁棒性好、模型与频率相关等优点；提升了精密压电驱动系统对于期望位移的跟踪精度，对精密压电驱动系统迟滞模型的建立以及迟滞非线性控制方案的设计具有实用意义。