摘要
一种半导体封装包括半导体芯片,该半导体芯片各自包括前绝缘层或后绝缘层中的至少一个,半导体芯片通过前绝缘层与后绝缘层之间的直接接合而彼此接合。半导体芯片中的至少一个半导体芯片包括:器件层,包括互连结构;以及导电图案,在器件层的前表面上。导电图案包括:焊盘图案,电连接到互连结构;以及虚设图案,与焊盘图案间隔开。虚设图案包括:第一虚设图案,在焊盘图案之间,以在第一方向上与焊盘图案重叠;以及第二虚设图案,在第一虚设图案之间,以在第二方向上与焊盘图案重叠。第二虚设图案与第一虚设图案间隔开。
技术关键词
半导体芯片
焊盘图案
半导体封装
导电图案
互连结构
半导体衬底
铜合金
电极
硅烷
信号
弯曲
电压