一种湿法磷酸制备高纯电子级磷酸的方法

本发明公开了一种湿法磷酸制备高纯电子级磷酸的方法，通过将膜分离技术与结晶技术耦合，提高磷酸中金属离子去除效果得到超高纯电子级磷酸。其方法工艺简单，不需添加额外溶剂或做进一步处理，绿色环保可有效避免二次污染；其具体工艺主要包括三个步骤：分别是磷酸预热、耐酸纳滤膜粗过滤去除磷酸中颗粒物和部分阴阳离子杂质、静态熔融结晶深度去除磷酸中金属阳离子和阴离子。此方法可将磷酸中单项金属离子含量降低至30 ppb以下，所得高纯电子级磷酸可应用于半导体芯片和液晶等电子工业制造领域。