一种晶圆加工用夹取机械手以及控制装置

本发明提供一种晶圆加工用夹取机械手以及控制装置，包括：支撑固定座以及气动夹取机构，以通过固定支撑座将机械手安装于转运机械臂上，并通过气动夹取机构夹取晶圆；支撑固定座包括防尘盖、底座、第一驱动气缸、滑动机构以及两个移动安装座；滑动机构设置于底座的顶面，两个移动安装座分别对应与两个移动安装座相连，从而实现两个平行夹爪的左右开合；气动夹取机构包括两个相对布设的平行夹爪，并分别对应与两个移动安装座连接；两个平行夹爪均包括指尖固定支架、两个从动滑块、驱动滑块以及两个悬浮指尖，驱动滑块与第二驱动气缸相连，通过驱动滑块带动从动滑块滑动以控制四个悬浮指尖的组合大小，调整夹爪尺寸以适配并夹取不同尺寸的晶圆。