一种芯片加工用蚀刻清洗装置

本发明公开了一种芯片加工用蚀刻清洗装置，涉及芯片加工技术领域，包括用于储存清洗液的清洗箱体；清洗箱体中转动布设定位盘，定位盘与固定布设于清洗箱体外侧的驱动电机输出端固定，定位盘上呈周向阵列固定布设若干组定位板，各定位板末端均布设有用于承载芯片的承载板，承载板上开设用于嵌入芯片的承载槽；其中，承载板内开设腔体，承载槽的槽底均匀开设有若干组与腔体连通的喷孔，喷孔与腔体之间设有仅限于排液的单向阀，腔体与输液机构连接，以用于将清洗液输送至腔体中；喷孔喷出的清洗液一方面对芯片底面进行冲洗，另一方面可以推动芯片与槽底之间形成间隙，避免蚀刻液或杂质的残留影响芯片后续加工质量。