晶圆的加热装置及加热方法

本申请提供一种晶圆的加热装置及加热方法。该加热装置包括：温度传感器、温度处理器、第一加热部件、第二加热部件、第一控制器和第二控制器；温度传感器用于在晶圆旋转时，测量晶圆沿径向方向的单个或多个位置的实时温度；温度处理器用于接收温度传感器测量的实时温度，并将实时温度进行滤波处理，分离出无波动的第一温度以及有波动的第二温度；第一控制器用于接收温度处理器分离出的无波动的第一温度，并根据第一温度控制第一加热部件和第二加热部件的输出功率；第二控制器用于接收温度处理器分离出的有波动的第二温度，并根据第二温度调节第二加热部件的补偿功率，其中补偿功率用于对第二加热部件的输出功率。可以提高晶圆温度分布的均匀性。