基于半导体切筋工序的监测优化系统及方法

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基于半导体切筋工序的监测优化系统及方法
申请号:CN202410941430
申请日期:2024-07-15
公开号:CN118469105A
公开日期:2024-08-09
类型:发明专利
摘要
本发明公开了基于半导体切筋工序的监测优化系统及方法,属于监督或预测目的的数据处理方法领域,系统包括:数据采集单元;数据分析处理单元;优化建议生成单元;反馈执行单元;学习提升模块。通过安装在半导体生产线上的多种传感器,系统能够实时收集切筋过程中的关键参数数据,如切割速度、切割力度、切割角度和切割温度。这些数据为后续的分析提供了基础,使得问题能够在发生之初就被识别和处理,极大地提高了生产效率和产品质量,并且数据分析处理单元利用机器学习算法来分析采集到的数据,可以准确地识别出切筋过程中的潜在问题或效率低下环节。这种智能化的数据处理方式,相较于传统的手动分析,不仅效率高,而且准确性也大幅提升。
技术关键词
半导体 数据采集单元 机器学习算法 处理单元 数据采集器 安全监控模块 人机交互接口 数据处理方式 读取传感器 表达式 监测刀具 参数 样本 代表 数据处理方法 刀具材料 速度传感器
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