一种基于卷积神经网络检测莫尔条纹的高精度对位方法

本发明公开了一种基于卷积神经网络检测莫尔条纹的高精度对位方法，包括标定阶段和对位阶段；在对位标记设计上，仅采用两对圆光栅标记，对位标记图案简单。圆光栅可以同时充当粗对位和精对位标记的作用，属于几何图像与相位信息相结合的对准的方法，相比传统的光强信息对位方法而言，不需要设计复杂的光学结构，具有更好的工艺适应性和更低的实现成本；相比单纯几何图像对位方法而言，本发明结合了圆光栅叠加产生的莫尔条纹可以放大微小位移的特性，可以实现高于像素级别的偏差测量；相比单纯的相位信息对准方法而言，本发明结合了使用光栅圆外轮廓定位作为粗对位的偏差测量，可以实现更大范围的偏差测量。