一种晶圆批次特征归类的方法、设备、介质及产品

本申请涉及信息技术领域，提供一种晶圆批次特征归类的方法、设备、介质及产品。本申请的晶圆批次特征归类的方法包括：获取问题批次晶圆的特征数据；其中，所述问题批次晶圆的特征数据包括属性特征和相关性特征；将所述问题批次晶圆的特征数据进行特征工程处理，得到特征向量数据；将所述特征向量数据根据预设的聚类算法进行聚类，得到多个聚类簇。通过上述配置方式，本申请能够提高问题晶圆批次的归类准确率。