一种高温合金痕量元素近微米级近原位-多模态表征方法

本发明公开了一种高温合金痕量元素近微米级近原位‑多模态表征方法，属于高温合金痕量元素表征技术领域；解决了现有痕量元素分析方法采用单一检测技术结果直接比对分析，无法协同综合分析同一影响区域内元素分布、价态、组织结构的信息的技术问题。本发明的高温合金痕量元素近微米级近原位‑多模态表征方法包括以下步骤：步骤1、制备样品并获取样品的元素含量及分布三维数据；步骤2、基于SIMS、APT、XPS、SEM和TEM五种微区成分‑组织分析技术对步骤1获得的样品的元素含量及分布三维数据通过插值算法进行尺度匹配；步骤3、基于步骤2中尺度匹配的三维元素含量及组织结构数据，建立可以用于精确评价工艺结果的三维多模态数据模型。