一种堆叠芯片高精度缺陷检测仪器及自动化检测方法

本发明涉及芯片缺陷检测技术领域，且公开了一种堆叠芯片高精度缺陷检测仪器及自动化检测方法，包括检测箱和检测支撑框架，检测箱内设置有水槽，检测支撑框架上设置超声波探头，水槽内设置有检测座以及多功能支撑装置，多功能支撑装置包括：夹具；推拉座，夹具通过推拉杆连接推拉座；外齿轮，推拉座外侧设置有外齿轮；升降侧件，任一外齿轮前后两侧设置有两个对称的升降侧件；丝杆，任一升降侧件上都设置有与升降侧件丝杆连接的丝杆，丝杆一端连接丝杆电机。通过四个升降侧件同步升降控制晶圆升降，通过控制内外两侧的升降侧件相对移动使晶圆旋转，从而便于超声波探头检测晶圆正反两面和任一角度的斜侧面。