基于维度特征的器件缺陷检测方法、装置、设备和介质

本发明实施例公开了基于维度特征的器件缺陷检测方法、装置、设备和介质。自动光学检测过程中，获取待检测器件的待测图像，基于待测图像获取对应的标准图像和检测策略，检测策略包括至少两个检测维度和维度检测顺序，每个检测维度对应配置有预训练的特征提取模型；将待测图像和标准图像，依次输入维度检测顺序对应的特征提取模型进行维度特征分类提取和检测；在每个检测维度的待测提取结果与对应的标准提取结果均匹配的情况下，确认对应的待检测器件检测合格。根据不同器件类型的重点特征，基于对应的检测维度进行有顺序的检测，从而实现对器件缺陷的精准检测。