多分镜头反倾斜直接帧化法及计算机设备

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多分镜头反倾斜直接帧化法及计算机设备
申请号:CN202410960519
申请日期:2024-07-17
公开号:CN118915396A
公开日期:2024-11-08
类型:发明专利
摘要
本发明一种多分镜头反倾斜直接帧化法及计算机设备,旨在解决多分镜头无掩膜光刻系统中数据处理路径长、处理单元要求高及实时性不足的问题,通过提出一种反倾斜直接帧化法,对各成像区域条带图形进行反倾斜处理,直接构造帧化矩形并进行多边形填充,最终合并为全区域帧图像,实现多分帧图像的实时生成,通过本发明的实施,减少了中间步骤,缩减了数据量和传输时间;优化了空间光调制器和数据处理单元的使用,减少了主机硬件的投入;提高了曝光响应时间和单位时间内的制程能力,增强了系统的实时性,提升了制程能力和曝光效率。
技术关键词
成像 填充算法 空间光调制器 无掩膜光刻系统 数据处理路径 计算机设备 条带 扫描线算法 像素 矩形 矩阵 多边形 数据处理单元 图像 处理器 制程 存储器 单路 坐标
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