摘要
本发明提供一种集成激光雷达芯片,涉及集成激光雷达技术领域,该集成激光雷达芯片包括:集成在同一基板上的反射式的半导体放大器、高阶分布式布拉格反射光栅外腔和光束扫描阵列;其中,反射式的半导体放大器作为增益结构,高阶分布式布拉格反射光栅外腔作为反馈结构,反射式的半导体放大器与高阶分布式布拉格反射光栅外腔耦合,以产生单波长窄线宽的调频连续波激光。本发明可以降低调频连续波激光的线宽,高阶分布式布拉格反射光栅外腔在芯片上的占用面积小,结构简单,易于集成,其反射谱的谱峰半高宽小,有利于实现单模单波长稳定较高功率激射,可以大规模应用。
技术关键词
集成激光雷达
半导体放大器
反射光栅
调频连续波
天线阵列
光开关阵列
布拉格
光学相控阵天线
分束器
光移相器
光栅结构
芯片
工艺相兼容
波导
平面光