摘要
本发明公开了一种防尘结构、MEMS麦克风以及电子设备,涉及MEMS麦克风技术领域,其中,防尘结构包括第一垫层,所述第一垫层开设有开孔;第二垫层,所述第二垫层设有遮挡部,所述遮挡部与所述开孔相对设置,并在第一垫层和所述第二垫层的排布方向上与所述第二垫层间隔设置,所述遮挡部可朝向所述开孔活动以遮挡所述开孔。本申请的技术方案,可以在不影响外界声音传入MEMS麦克风的条件下,提高MEMS麦克风的防尘和抗气流冲击能力。
技术关键词
防尘结构
MEMS麦克风
垫层
MEMS芯片
封装结构
电子设备
基板
轮廓
外壳
气流