摘要
本发明属于红外成像领域,公开了一种基于铌酸锂超表面非线性上转换的红外成像装置。该装置包括二氧化硅衬底、铌酸锂超表面和二氧化硅光栅三层薄膜结构,红外光沿薄膜法线方向或倾斜一定角度入射到光栅表面时,所述红外光被装换成具有特定频率的可见光。通过利用高Q因子的铌酸锂超表面,结合SFG过程的相干上转换特性和Fourier成像方案,克服所述铌酸锂超表面的非局域性带来的限制,并通过加工质量和一致性良好的超表面结构,实现高转换效率、高分辨率和低噪声的红外成像。解决了现有技术下红外成像高转换效率、高分辨率和低噪声图像不能兼容的问题。
技术关键词
红外成像装置
二氧化硅衬底
重复性结构
非线性
红外成像芯片
红外光
薄膜结构
低噪声图像
铌酸锂薄膜
周期性重复
长条形结构
光栅结构
可见光
局域
超表面