一种套刻标记评价指标的预测方法和装置

本公开提供了一种套刻标记评价指标的预测方法和装置。本公开的预测方法包括：构建训练数据集，训练数据集中至少包括：套刻标记的参数信息以及套刻标记的评价指标；以训练数据集中的参数信息作为输入，以训练数据集中的评价指标作为输出，对评价指标预测模型进行训练，得到训练好的评价指标预测模型；以及，将待评价的套刻标记的参数信息输入至评价指标预测模型，得到待评价的套刻标记的评价指标。本公开采用机器学习的方式，通过训练套刻标记的评价指标预测模型来替代复杂的光学衍射模型，使训练的预测模型能够以高精度逼近套刻标记的实际物理模型，以输出精度更高的套刻标记评价指标。