高密度重新分布互连封装结构及其制备方法

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高密度重新分布互连封装结构及其制备方法
申请号:CN202410970242
申请日期:2024-07-19
公开号:CN118538703B
公开日期:2024-11-26
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种高密度重新分布互连封装结构及其制备方法,涉及芯片封装技术领域,该高密度重新分布互连封装结构包括第一芯片、转接围墙、第一塑封体、基底布线组合层、第二芯片、第二塑封体和焊球,转接围墙围设在第一芯片周围,且转接围墙中设置有第一导电柱;第一塑封体包覆在第一芯片和转接围墙周围;基底布线组合层设置在第一塑封体的一侧表面;转接围墙的介电常数小于第一塑封体的介电常数。相较于现有技术,本发明通过额外设计转接围墙,并在转接围墙中形成第一导电柱,避免了在塑封材料上开槽,转接围墙介电常数更低,绝缘性能更好,可以减少传输损耗,提升第一导电柱的传输性能。
技术关键词
围墙 封装结构 导电柱 布线 高密度 基底 台面 芯片封装技术 焊球 介质 外露 保护胶层 导电层 氧化层 凸台 绝缘 通孔 错位
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