摘要
本发明提供了一种高密度重新分布互连封装结构及其制备方法,涉及芯片封装技术领域,该高密度重新分布互连封装结构包括第一芯片、转接围墙、第一塑封体、基底布线组合层、第二芯片、第二塑封体和焊球,转接围墙围设在第一芯片周围,且转接围墙中设置有第一导电柱;第一塑封体包覆在第一芯片和转接围墙周围;基底布线组合层设置在第一塑封体的一侧表面;转接围墙的介电常数小于第一塑封体的介电常数。相较于现有技术,本发明通过额外设计转接围墙,并在转接围墙中形成第一导电柱,避免了在塑封材料上开槽,转接围墙介电常数更低,绝缘性能更好,可以减少传输损耗,提升第一导电柱的传输性能。
技术关键词
围墙
封装结构
导电柱
布线
高密度
基底
台面
芯片封装技术
焊球
介质
外露
保护胶层
导电层
氧化层
凸台
绝缘
通孔
错位