机械臂测试方法、装置、电子设备及存储介质

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机械臂测试方法、装置、电子设备及存储介质
申请号:CN202410976922
申请日期:2024-07-19
公开号:CN118664652B
公开日期:2025-07-04
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种机械臂测试方法、装置、电子设备及存储介质,涉及机械臂技术领域。该方法包括:在当前机械臂对晶圆进行搬运时,获取当前机械臂的当前单次伸缩偏移量和第一预设单次伸缩偏移量;对当前单次伸缩偏移量和第一预设单次伸缩偏移量进行比较;在当前单次伸缩偏移量小于第一预设单次伸缩偏移量时,确定当前机械臂的当前稳定状态为当前机械臂稳定;在当前单次伸缩偏移量大于等于第一预设单次伸缩偏移量时,确定当前机械臂的当前稳定状态为当前机械臂不稳定。本发明实施例的技术方案实现了对机械臂的稳定性检测,从而保证了利用晶圆所生产的半导体产品的质量。
技术关键词
测试方法 机械臂测试装置 计算机程序产品 电子设备 机械臂技术 半导体产品 可读存储介质 模块 处理器通信 时间段 晶圆 偏差 存储器 指令
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