摘要
本发明公开了一种机械臂测试方法、装置、电子设备及存储介质,涉及机械臂技术领域。该方法包括:在当前机械臂对晶圆进行搬运时,获取当前机械臂的当前单次伸缩偏移量和第一预设单次伸缩偏移量;对当前单次伸缩偏移量和第一预设单次伸缩偏移量进行比较;在当前单次伸缩偏移量小于第一预设单次伸缩偏移量时,确定当前机械臂的当前稳定状态为当前机械臂稳定;在当前单次伸缩偏移量大于等于第一预设单次伸缩偏移量时,确定当前机械臂的当前稳定状态为当前机械臂不稳定。本发明实施例的技术方案实现了对机械臂的稳定性检测,从而保证了利用晶圆所生产的半导体产品的质量。
技术关键词
测试方法
机械臂测试装置
计算机程序产品
电子设备
机械臂技术
半导体产品
可读存储介质
模块
处理器通信
时间段
晶圆
偏差
存储器
指令