异物检测方法及系统

本公开提供一种异物检测方法及系统，其中，异物检测方法应用于异物检测系统，以检测温控单元表面的异物，异物检测方法包括：通过控制器生成第一控制信号；响应于第一控制信号，驱动检测组件按照设定路径运动；其中，设定路径上具有与多个测量单元对应的多个预设位置；在确定检测组件达到任一预设位置时，通过控制器生成第二控制信号；响应于第二控制信号，驱动检测组件输出探测光至与预设位置对应的测量单元；通过检测组件获取经测量单元反射的检测光，并输出与检测光对应的检测信号至控制器；基于检测信号，确定温控单元表面的异物的参数信息。采用上述技术方案，能够提高制程效率。