摘要
本发明涉及显示芯片技术领域,公开了一种Micro LED显示芯片及其制备方法,Micro LED显示芯片包括驱动基板,驱动基板表面设有若干发光单元,发光单元底部通过键合金属层与驱动基板相连,发光单元包括外延层,外延层侧壁设有介质层,介质层对应发光单元出光口处开窗,介质层外设置有纳米银线层,纳米银线层内沉积ITO导电膜。本发明通过引入网状纳米银线分割电极结构,增强了Micro LED的散热能力,提高了热稳定性。
技术关键词
驱动基板
发光单元
纳米银线层
ITO导电膜
芯片
真空离子镀膜
真空溅射镀膜
介质
金属触点
多量子阱结构
真空蒸发镀膜
外延片衬底
蚀刻
半导体层
蓝宝石衬底
掩膜图案
电极结构