一种压电打印芯片及其制备方法

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一种压电打印芯片及其制备方法
申请号:CN202410991136
申请日期:2024-07-23
公开号:CN118752910A
公开日期:2024-10-11
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种压电打印芯片及其制备方法。该压电打印芯片包括:流道层结构;盖板,盖板和流道层结构键合组装;导电层,设置于盖板远离所述流道层结构的一侧;压电体,位于导电层远离盖板的一侧,压电体通过导电材质固定连接于导电层。本发明实施例的技术方案,通过半导体制备工艺制作流道层结构和一侧设置有导电层的盖板;流道层结构和一侧设置有导电层的盖板键合组装,实现更高的互联密度和更低的能耗;压电体通过导电材质与导电层连接,最终形成压电打印芯片,降低组装难度,节约制作成本,且不需要依赖压电薄膜溅射设备,解决产能受限的问题。
技术关键词
流道层结构 压电体 导电层 芯片 半导体刻蚀工艺 液体 衬底 导电胶 溅射设备 压电薄膜 注塑工艺 电极 产能 受限 能耗 玻璃 塑料
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