一种射频电源的驱动装置、射频电源、半导体工艺设备

本发明实施例提供了一种射频电源的驱动装置、射频电源、半导体工艺设备；包括射频驱动信号输入模块输出射频驱动信号；门级驱动放大模块输入端与射频驱动信号输入模块输出端连接，对射频驱动信号进行初级放大；可控选频网络模块输入端与门级驱动放大模块输出端连接，选通与所述目标频率匹配的射频驱动信号；阻抗变换模块输入端与可控选频网络模块输出端连接；二级驱动放大模块，其输入端与阻抗变换模块输出端连接，对初级放大后的射频驱动信号进行二次放大，输出射频功率；阻抗变换模块对门级驱动放大模块和二级驱动放大模块进行阻抗匹配；本发明实施例通过可控选频网络模块选通指定频率的射频驱动信号；使得驱动装置复用不同主频率的射频电源。