晶圆缺陷类别检测方法及装置

本发明涉及晶圆缺陷类别检测方法及装置，方法包括：获取待检测的目标晶圆图；将所述目标晶圆图输入到晶圆重构模型中，得到重构晶圆图；其中，所述晶圆重构模型为自编码器，基于包含多个正常晶圆图的第一数据集预先训练得到；根据所述目标晶圆图和重构晶圆图之间的重构误差，确定所述目标晶圆图的目标类型，包括正常晶圆图和异常晶圆图；当所述目标类型为异常晶圆图时，基于第二数据集对所述目标晶圆图上的缺陷图案进行缺陷检测，得到目标晶圆图的目标缺陷类别；其中，所述第二数据集中包含多个异常晶圆图以及各自的缺陷类别。