一种半导体器件及其制作方法

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一种半导体器件及其制作方法
申请号:CN202411001066
申请日期:2024-07-25
公开号:CN118943080A
公开日期:2024-11-12
类型:发明专利
摘要
本申请属于半导体技术领域,尤其涉及一种半导体器件的制作方法及半导体器件。该方法包括:提供衬底晶棒,对衬底晶棒研磨处理以得到棒状体,棒状体具有预定形状的横截面,去除棒状体表面的杂质;对棒状体的周向表面光刻、并镀设功能膜层;在功能膜层的预设位置进行电镀处理,在半导体功能膜层的表面形成电镀电极,以及在棒状体的预设位置电镀形成导电线路,从而在棒状体的周向表面形成多个芯片;对棒状体表面残留的杂质以及光刻胶进行剥离;对棒状体上形成的多个芯片测试;将芯片与电路板电性连接,得到周向表面上形成有多个芯片的半导体器件。本申请通过在棒状体的周向表面形成多个芯片,芯片工作时热量向四周散发,更利于解决多芯片散热的问题。
技术关键词
芯片 半导体器件 投影透镜组 闭环控制系统 超声波探头 微流道 研磨头 电路板 导电线路 凹面反射镜 衬底 电镀 相变材料 支撑头 激光器 精密机构 伸缩可调 功能膜层
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