一种晶圆缺陷分类方法、装置、介质、设备和程序产品

本说明书提供一种晶圆缺陷分类方法、装置、介质、设备和程序产品，获取了多个用于表征晶圆缺陷图像的原始数据集，通过层次聚类法对原始数据集进行聚类处理，获得树状图，根据预设的距离阈值从树状图中确定至少一个类簇。再获取新缺陷数据，并根据新缺陷数据与多个类簇之间的距离，来确定最终的晶圆缺陷分类结果。上述方法利用了层次聚类算法，无需事先指定类簇数量，可以灵活应对研发阶段缺陷类型的变化，而且减少调试和模型迭代训练时间。上述方法利用了改良的增量层次聚类算法，减少了新缺陷数据加入时的计算量。